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2025/05/03 03:28:13 8,654次浏览

克日台积电（TSMC）举行了2025年北美手艺论坛，宣布了下一代A14制程工艺，旨在通过提供更快的盘算和更高的能效来推感人工智能（AI）转型。台积电称，A14制程工艺妄想2028年投产，现在的开发希望顺遂，良品率比预期的要高。凭证已往的说法，虽然台积电在A16上选择不接纳High-NA EUV光刻手艺，可是到了A14会选择加入。

据Bits and Chips报道，台积电已经决议在A14制程工艺上不引入High-NA EUV光刻手艺，仍然坚持使用原有的EUV光刻装备。台积电信托，即便没有High-NA EUV光刻装备，A14制程工艺依然可以实现性能、密度、良品率等目的。台积电将通过限制这一代到下一代的掩模层数目，为客户提供更经济实惠的解决计划，同时又不会牺牲要害部分的重大性。

凭证设置的差别，High-NA EUV光刻装备的价钱约在3.85亿美元起步，这将大大增添晶圆厂的本钱。芯片制造商更倾向于重复使用现有的工具，以是台积电也尽可能地阻止使用High-NA EUV光刻装备，除非原有的EUV光刻系统无法继续刷新生产能力。与此同时，台积电也在相关光刻质料上下功夫，以提高光刻工艺和良品率。

最近有IBM的研究职员体现，单次High-NA EUV的本钱或许是通俗EUV的2.5倍。直到现在为止，英特尔仍然是唯逐一家致力于接纳High-NA EUV光刻手艺举行大批量生产的主要代工厂。

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台积电决议A14制程不使用High-NA EUV手艺，为客户提供更实惠的解决计划
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